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第一三八六章 光刻机的现状下（第1页）

“董事长，要是nikon在我们之前，率先攻克157nm激光器技术，率先研发成功65nm制程工艺的光刻机，我们如何应对？”

cto汤普森知道euv光刻机不是短时间内能研制成功的，也主张两条腿走路，gca研究院如今也在研发157nm激光器，由于gca一直以研发euv为主，157nm激光器的技术远不如nikon和svg，投资10美元，要是能够收购svg，拿到svg独有的157nm激光器需要配置的反折射镜头技术，不能反超nikon，也能同nikon并肩齐驱。

孙董事长不同意公司收购svg，汤普森也不理解。

euv

llc联盟规划投资2亿美元，集合200多位顶尖科学家，目的就是从理论上验证了euv光刻机的可行性？理论验证完成后，euv

llc联盟将宣布解散，将研制euv和euv光刻机的难题交给gca，据同行在一起估算，研发投资起码要花50亿美元！

汤普森领导euv

llc联盟的200多位科学家，研究了2年多，还没有验证清楚euv光刻机的可行性？

“汤普森院长的担忧也有道理，除了加强研发力量继续研究157nm激光器技术外，艾德里安先生可以同papken先生接触一下，看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利？价格可以商量?”

papken是svg的首席执行官。

孙健本来不想在董事会上谈论收购svg的事情，但汤普森的提问代表gca高层的疑惑，不得不正面回应。

当时因为bsec研究院光源研究所还没有研发成功193nm浸没式光刻机技术，孙健不反对gca研究院两条腿走路，但bsec研究院光源研究所去年已经研发成功193nm浸没式光刻机技术，gca再继续投入巨资研发157nm激光器就是多此一举，但也不能打击众人的积极性。

“好的，董事长！”

艾德里安心里好奇，为什么孙董事长不同意收购svg？似乎对研发157nm激光器技术不是特别支持，难道还有更好的方法？明白papken不会低价出售反折射镜头技术的专利。

“汤普森院长，euv

llc联盟一旦从理论上验证了euv光刻机的可行性后，要是gca继续研发euv光刻机，理论上大概需要多少投资?”

孙健转移话题，也是告诉公司高层，gca账上的现金流不是多了，而是远远不够。

前世，euv

llc联盟的几百位顶尖科学家在一起联合研发了6年多，发表了几百篇科研论文，从理论上验证了euv光刻机是可行的，目的达到，解散了euv

llc联盟，接下来的实际问题都抛给了asml，面对如此高深的技术，asml是选择做还是不做？

asml一家之力不可能完成研制成功euv光刻机这项宏伟工程，不得不拿出公司近三成的股权，向下游光刻机重要客户intel、台积电和三星电子融资了60多亿美元！

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